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●300mmウェーハ用自動膜厚測定装置KV-300
多種類基板、不定形基板から最大300mmΦ基板まで対応した、自動ステージ及びマッピング機能搭載装置です。測定膜厚の範囲は4タイプあり、最大500μmまで非接触で測定が可能です。また、基板吸着機能と膜厚測定ポイント・モニタ機能を採用し、反り基板の測定に威力を発揮するとともに、測定ポイントの確認が可能です。
| 測定膜厚範囲： |
仕様A…0.08〜200μm |
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仕様B…0.10〜350μm |
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仕様C…0.20〜500μm |
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仕様D…0.04〜40μm |
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●自動膜厚測定装置KF-10
最大200mmΦ基板に対応した、自動ステージ及びマッピングソフト搭載装置です。
測定膜厚範囲：0.08〜160μm
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●マニュアル膜厚測定装置KF-10m
ステージ固定型の低価格モデルです。
測定膜厚範囲：0.08〜160μm
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●基板厚さ測定装置Si-71
非接触にて、シリコン／GaAs／InP／ガラスなど各種基板の厚さを自動測定する装置です。
不定形基板から最大300mmΦ基板まで対応する基板吸着式自動ステージを搭載し、基板の厚さ面内分布を容易に出力可能です。
測定範囲：20〜500μm（シリコンウェーハ）
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