【LTJ：LSCシリーズ】

トップページ-->Solution--Litho Spin Cupシリーズ

ウエーハ製造プロセスのあらゆる部門に適応可能な簡易型のレジスト塗布、現像装置です。

■主な機能

マニュアル装置でありながら、ケミカルフィルタ、レジスト温調、現像液温調、塗布室の雰囲気温調・湿度制御などの各種オプションの搭載も可能です。基板サイズは最大300mmΦまで対応し、不定形基板にも対応可能な自由度の高い、高性能装置です。レジスト系統数や現像液系統数、BSR（バック・サイド・リンス）／EBR（エッジ・ビード・リムーバ）の自由な組み合わせが可能です。

■ラインアップ

●モデルLSC-800C マニュアルのレジスト塗布装置です。	●モデルLSC-800D マニュアルの現像装置です。	●モデルLSC-Qz1 マニュアルの極小基板用のレジスト塗布装置です。


●モデルLSC-400C シンプル仕様の安価なマニュアル・レジスト塗布装置です。		●モデルLSC-400D シンプル仕様、低コストのマニュアル現像装置です。