【LTJ：LWBシリーズ】

自動レジスト塗布・現像ベーク装置、LITHOTRACシリーズに搭載されている高精度ベークプレート、高精度クーリングプレートを採用したマニュアルのベーク・クーリング装置です。

■主な機能

上蓋内側からプロセス・ガスが基板上に均一にパージされ、ベーク中の基板をコンタミネーションから守ります。また、均一排気によりベークの際に発生するアウトガスをクリンルームに放出しない構造となっています。基板サイズは最大300mmΦまで対応し、不定形基板にも対応可能な自由度の高い、高性能装置です。

■ラインアップ

	●モデルLWB-03P（マニュアル・ベーク・クーリング装置）手軽に高精度ベークと高精度クーリングが可能です。ベークとクーリング間の基板搬送系を搭載することができます。

	●モデルLWB-03（マニュアル・ベーク装置）手軽に高精度ベークが可能です。高温度対応（400℃）のLWB-03Hもございます。

	●モデルAPPS-30（枚葉型マニュアルHMDS処理装置）枚葉で手軽にHMDS処理が可能です。

	●モデルAPPS-40（バッチ型マニュアルHMDS処理装置）手動で真空ベーク炉内に基板キャリア（8インチキャリア）をセットし、手軽にHMDS処理が可能です。