【LTJ：Litel社製　半導体露光装置測定システム】

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米国Litel Instruments社製のInspecStep^TM干渉計［InspecStep^TM Interferometer（ISI^TM）］は、これまでレンズ単体でしか測定できなかった半導体露光装置の対物レンズの収差を数nm程度の非常に高い精度で露光装置のシステム上で測定します。また、光源測定装置［Source Metrology Instrument （SMI^TM）］は半導体露光装置の光源システムの光源特性を測定します。
Litel Instruments社　http://www.litel.net/

■ラインアップ

●InspecStem^TM干渉計
［InspecStep^TM Interferometer （ISI^TM）］

通常のレティクルの代わりに露光装置で使用。寸法は標準の6×6、250mil レティクルに同じ。波長が同じであれば露光装置間で共用可。
ウエーハにISI^TMレティクルでパターンを形成し、Litel専用構造をオーバーレイ測定装置で測定。
複数のフィールド・ポイントを測定し、フィールドの位置の関数として収差が得られます。
Litel製ソフトウエアが、当該露光装置の光学収差を解析し、レポートを作成します。

●光源測定装置
［Source Metrology Instrument（SMI^TM）］

SMI^TMは光源の像をウエーハ焦点面でレジストに転写します。それぞれの像は参照フレーム内に露光されます。像はフィールド全体、またはスリットから収集されます。
強度プロファイルが、露光により得られたレジスト像のビットマップファイルを使って再構成されます。
光強度プロファイルはSMI＊のソフトウエアによって解析され、σ、σ の対称性（σx - σy）、ポール・バランス、テレセントリシティ、その他を出力します。