【LTJ：Transfer Devices製　MxL】

トップページ-->Solution--高解像転写プロセス技術：MxL

米国TDI（Transfer Devices, Inc.）社が開発した新しいパターン転写技術MxL（Molecular Transfer Lithography）です。MxLはシンプルなプロセスかつ低コストで、ナノスケールのパターン転写を実現しました。TDI社はMxLテンプレートを受託加工いたします。

■MxL転写技術

１．MxLテンプレート受託加工

お客様の実パターン（Master）にMxL溶液をスピン塗布します。塗布したMxLにキャリア・フィルムを貼つけるとともにMxLをMasterより分離し、MxLテンプレートが完成します。

２．Masterパターンの転写

MxLテンプレートにレジストをスピン塗布します。MxLテンプレートと基板間のアライメントを行います。その後、インプリント方式などを用いMxLテンプレートを基板に貼付けます。MxLテンプレートを水により溶解させレジスト・パターンを形成します。このレジスト・パターンを用いエッチングし、Masterパターンを転写します。

MxL 転写技術を用いた例