 |
 |
| レジスト現像アナライザは、最新鋭の18チャンネル現像速度解析評価装置です。このシステムを用いることにより、フォトレジストの現像速度測定、コントラストカーブ、感度の算出などの現像特性解析が迅速に行えます。また、リソグラフィ・シミュレータに必要なレジスト・モデリング・パラメータを正確に決定することができます。 |
| ■主な機能 |
|
1. 現像速度の測定・解析
Si基板、多層膜基板、Al基板、ARC上のレジストに対応
2. 現像特性解析
γ値、Eth、ディスクリミネーションカーブの測定、現像コントラスト（tanθ）の算出
3. 正確なモデリングパラメータの決定
現像パラメータ、拡散長、表面難溶化パラメータの決定
4. データテーブルの作成とシミュレータへのデータ転送
5. 現像液の自動供給、排液システム
6. ウェーハの自動インサート、基板サイズは4〜8インチ（12インチ対応可）
|
| ■ラインアップ |
|
 |
●RDA-760（レジンアナライザ）
1チャンネルモニタも可能な樹脂の溶解速度・評価装置。レジスト向け樹脂材料の品質管理
に威力を発揮します。
| 波長: 470nm |
(対応レジスト膜厚100nm 〜 1μm) |
| 波長: 950nm |
(対応レジスト膜厚500nm 〜 8μm) |
| チャンネル: |
1, 3, 6, 9, 18 CH に対応 |
| ウェーハサイズ: |
4, 6, 8 インチに対応 |
| |
|
 レジンアナライザRDA-760カタログ |
|
|
 |
●RDA-760Spin（レジンアナライザ）
RDA-760のSpin現像対応装置です。チャンネルは1、3チャンネルに対応します。現像方法はスプレー、パドル現像に対応します。
|
|
 |
●RDA-790（レジストアナライザ レンズ固定型）
18チャンネルモニタの標準機。モニタ波長は、470nmと950nmのいずれかを選択できます。
| 波長: 470nm |
(対応レジスト膜厚100nm 〜 1μm) |
| 波長: 950nm |
(対応レジスト膜厚500nm 〜 8μm) |
| ウェーハサイズ: |
4, 6, 8 インチに対応 |
| |
|
| レジストアナライザRDAシリーズ カタログ |
|
|
 |
●RDA-800（レジストアナライザ レンズ同期型）
レジストとサンプル基板が同期して動き、サンプル基板が現像液に入った瞬間から測定可能です。
アクリル系ArFレジストのような Rmax が速いサンプル評価に最適です。
| 波長: 265nm |
(対応レジスト膜厚20nm 〜 500μm) |
| 波長: 470nm |
(対応レジスト膜厚200nm 〜 1000nm) |
| 波長: 950nm |
(対応レジスト膜厚500nm 〜 8μm) |
| ウェーハサイズ: |
4, 6, 8 インチに対応 |
| |
|
| レジストアナライザRDAシリーズ カタログ |
|
|
 |
●RDA-Qz3（QCM対応レジスト現像アナライザ）
QCM（クォーツマイクロバランス）法を用いた現像速度測定・評価装置。現像中のレジストの膨潤挙動も評価できます。
|
| |
|
|
|
