【LTJ：Energetiq社製　EQ-10M EUV Source】

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米国Energetiq社が新しいコンセプト“Z-ピンチ”で開発したEUV光源。
コンパクトボディーにより、コストパフォーマンスを実現。
EUV光源の新機軸として、顕微鏡･欠陥検査･EUVレジストの評価等の光源として活用できます。
Energetiq Technology, Inc.http://www.energetiq.com/

■特長

●　無電極
●　最大10W（2φ）の高出力　　
●　自在なインターフェイス
●　コンパクトサイズ

●　繰り返し出力　最大1kHz
●　プラズマサイズ1mm以下
●　高出力、低コスト


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