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レジスト現像アナライザ RDAシリーズ
近年、低コストで高解像性が望めるナノインプリント技術が注目を集めています。当社では、樹脂やナノインプリントプロセス評価用など、用途に合わせたナノインプリント評価装置をラインアップしております。
■ラインアップ
LTNIP-500写真

LTNIP-500(簡易型UVナノインプリント実験装置)

実験用に開発した卓上ナノインプリント装置です。光源にLEDエリア光源を用いています。
オプションにて真空機構、 熱ナノインプリントユニットを搭載することも可能です。


   
  ナノインプリントLTNIP-500カタログ

LTNIP-2000写真

LTNIP-2000(高圧対応 熱光ハイブリットナノインプリント装置)

高圧プレスを可能にするため、プレス機構部にはエアシリンダを採用(1MPa 〜 50MPa)。PC 制御により、複雑なプロセスを 自由に組んでナノインプリント実験を行うことができます。真空チャンバを有し、上部にUV機構、下部にホットプレートを配しています。


   
  ナノインプリントLTNIP-2000カタログ

LTNIP-5000写真

LTNIP-5000(低圧対応 熱光ハイブリットナノインプリント装置)

低圧で精密なプレスを実現するため、プレス機構にはサーボモータを採用(0.1 〜 10MPa)。 シーケンス制御により、複雑なプロセスを組んでナノインプリント実験を行うことができます。真空チャンバを有し、 上部にUV機構、下部にホットプレートを配しています。


   
  ナノインプリントLTNIP-5000カタログ

LTNIP-7000写真

LTNIP-7000(ロール to ロール実験用装置)

LTNIP-5000をロール to ロールに改造した装置。モスアイ構造の連続製作実験などに威力を発揮します。低圧で精密なプレスを実現するため、 プレス機構にはサーボモータを採用(0.1 〜 10MPa)。
シーケンス制御により、複雑なプロセスを組んでナノインプリント実験することができます。上部にUV機構、下部にホットプレートを配しています。

   
  ナノインプリントLTNIP-7000カタログ