●WEX-200（ウェーハ全面一括露光装置）

UV インプリントを行った後の、パターン周辺部の樹脂の一括露光を行うことにより、エッジ部の未硬化樹脂を固めることが出来る装置です。 最大6インチSiウェーハの一括露光が可能です。

ナノインプリント装置シリーズ カタログ

●WMA-600（ナノインプリント用アライメント装置）

ナノインプリントを行う際の、基板パターンとモールドの重ね合わせ（アライメント）を行う装置です。最大6インチSiウェーハのアライメントが可能です。

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