【LTJ：レジスト評価ツール】

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フォトレジストの高度な評価を行う、さまざまな装置を提供します。例えば、レジストの脱保護反応を解析する装置、ナノインプリント用のパターニング装置、環境試験装置などをラインアップしています。さらにお客様のニーズに合わせて、
これからも新たな評価装置を提案していきます。

■ラインアップ

●PAGA-100（脱保護反応解析装置）

in-situの露光後ベーク・モニタリング機構を有する、FT-IRスペクトロメータをベースとした化学増幅型レジスト用脱保護反応解析装置です。 FT-IR測定室内に10mmΦの測定ホールを持つベークユニットが配置されています。また、紫外光（248nm）照射装置も搭載されており、露光中における酸発生のメカニズムなどの解析にも利用できます。

　FT-IRシステム：FTS-3000、検出器MCT対応（バリアンテクノロジーズ社製）
　ベークユニット: 4～8 インチ対応ベークユニット（max.150℃）


PAGAシリーズカタログ

●NHGC-4000（アンモニア濃度加速試験装置）

0.5ppb～50ppbのアンモニア濃度環境を作り出し、レジストのポスト・エクスポージャー・ディレイ（PED）の評価が行えます。アンモニアモニタは横河電機社製CM-500を搭載し、アンモニアモニタとしても利用できます。

●ProxSim II（プロキシミティ露光・コンタクト露光シミュレータ）

レジスト現像アナライザからのレジスト現像データを読み込んでシミュレーションできます。マスクアライナの評価、プロキシミティ露光用レジストの開発・評価に威力を発揮します。

* 光強度分布計算プログラムは、みずほ情報総研株式会社の製品です。