●PROLITH（光リソグラフィ最適化およびDFMツール）

リソグラフィ・シミュレータは、数値計算により、露光光学系による結像およびフォトレジストの感光・現像の過程をコンピュータ上に表現し、現像後のフォトレジストの形状を算出します。リソグラフィの研究、開発、そして製造に欠かすことのできないツールとなっています。

●ProDATA（高度なリソグラフィデータ解析）

ProDATAはお持ちのデータを素早く簡単に解析することができるツールです。ProDATAは実測データでもシミュレーションデータでもコントラスト曲線、スイングカーブ、FEMを解析します。これらの結果を基に、プロセスの決定を行なう事ができます。

●ProBEAM（3次元電子ビームリソグラフィシミュレーション）

ビーム描画と電子線の散乱からレジストの感光・現像までの3次元の電子線リソグラフィ・プロセス全体をシミュレートし、最終的なレジスト形状を3次元で正確に予測します。電子線リソグラフィの研究、開発、そして製造に欠かすことのできないツールとなっています。

●LithoWare（次世代用高信頼性OPC/RET最適化ツール）

LithoWareはLinuxベースの新しいOPC/RET開発ツールです。LithoWareは次期ノードのOPC/RET開発のための高い信頼性を持つKLA-Tencor製のツールです。