コータ・デベロッパ

マニュアルベーク/クーリング装置 LWBシリーズ

レジスト自動塗布/現像装置LITHOTRACシリーズに搭載されている高精度ベークプレート、高精度クーリングプレート同等の性能を持ったマニュアルウェーハベーク/クーリング装置です。

マニュアルベーク装置

LWB-03/LWB-03H

概要

マニュアル式の高精度200℃プロキシミティベーク装置です。LWB-03Hは、最大400℃までの仕様に対応いたします。各種基板形状に合わせたベークプレートやリフトピンを用意しています。

ラインナップ

■LWB-03  マニュアル200℃ベーク装置

       基板サイズに合わせて4インチ仕様、8インチ仕様、300mm

       仕様を用意しています。

■LWB-03H マニュアル高温ベーク装置

       200℃から400℃までの範囲で上限温度や排気方法をご指

       定いただけます。

■LWC-03  マニュアルクーリング装置

       ベーク処理後のウェーハ冷却や塗布前のウェーハ温度制御

       にお使いいただけます。

用途

デハイドレーションベーク
レジストプリベーク
P.E.B.(ポストエクスポージャーベーク)
ハードベーク
LWB-03
関連画像

LWC-03


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マニュアルベーククーリング装置

LWB-03P

概要

高性能200℃ベークプレートとクーリングプレートを混載したマニュアルベーク装置です。自動搬送仕様モデルは、ベーク処理後にクーリングプレートへ基板を受渡し冷却するため、安全な操作が行えます。また、PEBの熱履歴管理にも非常に有効です。その他、複数のベークプレートや200℃以上の高温ベークプレート等自由な組合せが可能で、様々なベーク処理や塗布前のウェーハ温調にもご活用いただけます。
自動搬送モデル LWB-03P
関連画像

8インチウェーハ仕様

関連画像

300mm PEB-Coolモデル


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