シミュレータ

Virtual Lithography Simulator 

シミュレーション・ツールは実世界の近似で、リソグラフィの研究、開発、そして製造に欠かすことのできないものです。以下のようなシミュレータをラインアップしています。

リソグラフィ・シミュレータ -Real Virtual Patterning-

PROLITH X6

概要

リソグラフィ・シミュレータは、数値計算により、露光光学系による結像およびフォトレジストの感光・現像の過程をコンピュータ上に表現し、現像後のフォトレジストの形状を算出します。リソグラフィの研究、開発、そして製造に欠かすことのできないツールとなっています。

システム要件

【CPU】

2.0 GHz 以上のマルチ・プロセッサ

【OS】

Microsoft Windows Vista Business and Enterprise editions

Microsoft Windows 7 Professional and Enterprise editions

Microsoft Windows Server 2008 R2 Enterprise Edition

Microsoft Windows 10 Pro and Enterprise editions

※それぞれ、32ビット版、64ビット版ともに対応しています。

【メモリ】

4 GB以上

【ハードディスク】

PROLITHのインストールドライブに1 GB以上の空き容量と、

システムドライブに40 MB以上の空き容量

【ディスプレイ】

1280 x 1024以上の解像度のモニター

【その他】

Microsoft Internet Explorer 6 or later

 

KLA-Tencor株式会社(英語サイト)

アプリケーション

・最先端のリソグラフィ技術
10nmノード以下のリソグラフィ・プロセスの開発、EUVリソグラフィの評価、マルチ・パターニング・リソグラフィ技術に対応。

・基板段差
基板段差の設定が簡単にでき、これらにより、FinFET、STI層、インプラント層上でのレジスト形状のシミュレーションを、より正確に予測することを可能にします。
Resist Profile Output
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Process Window

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CD解析ソフトウェア

ProDATA

概要

ProDATAはお持ちのデータを素早く簡単に解析することができるツールです。ProDATAは実測データでもシミュレーションデータでもコントラスト曲線、スイングカーブ、FEMを解析します。これらの結果を基に、プロセスの決定を行なう事ができます。

システム要件

【CPU】

 2.0GHz 以上のマルチ・プロセッサ

【OS】

Microsoft Windows Vista Business and Enterprise editions

Microsoft Windows 7 Professional and Enterprise editions

Microsoft Windows Server 2008 R2 Enterprise Edition

Microsoft Windows 10 Pro and Enterprise editions

※それぞれ、32ビット版、64ビット版ともに対応しています。

【メモリ】
   4 GB以上
       (さらに、256 MB以上の仮想メモリ)
【ハードディスク】

PROLITHのインストールドライブに1 GB以上の空き容量と、

システムドライブに40 MB以上の空き容量

【ディスプレイ】
   1240 x 768 以上の解像度のモニター
【その他】
   ヘルプを表示にするためには以下のいずれかが必要
   Microsoft Internet Explorer
   Google Chrome
   Mozilla Firefox

 

 

KLA-Tencor株式会社(英語サイト)

アプリケーション

・ステッパ条件
・新規プロセスの最適化
・新規レティクルの検証
・フォトツールモニタリング用のデータ解析
・フォトレジストの性能比較
・リソグラフィデータの仮想化と解析
・リソグラフィ材料の適切な膜厚決定
Process Window
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EL vs. DOF


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