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HOME > 製品情報 > コータ・デベロッパ > マニュアルHMDSベーク装置 APPSシリーズ
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枚葉式HMDSベーク装置
ベークチャンバ
接触角
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バッチ式HMDS処理装置
到達真空 :10-1 Torr
設定温度 :80 ~ 200 ℃
HMDSガス :バブリング方式
サンプルサイズ :標準6インチカセット2個 (特注 8インチカセット1個)
装置サイズ :W1450 × D600 × H1750
電源 :200 V / 30 A
剥がれ防止効果の確認画像