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レジストの塗布、現像、ベーク
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自動レジスト塗布/現像/ベーク装置
LITHOTRACシリーズ
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マニュアルレジスト塗布/現像装置
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フォトプロセス解析露光装置
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LUVC-5000
レジスト評価ツール
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マスクアライナ
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フォトマスク
Benchmark Technologies社製 半導体露光装置用マスク
Phase Shift Focus Monitor Reticle
ナノインプリント
ナノインプリント装置 及び関連装置
LTNIP-500
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WMA-600
シミュレータ
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PROLITH 2019b
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KV-300
KF-10
L-2
分光エリプソメータ
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シリコンウェーハ厚さ測定装置
Si-71
Foothill Si-71
EUV光源
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Energetiq Technology社製 EQ-10M EUV Source
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受託測定・受託研究
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