シリコンウェーハ厚さ測定装置 Si-71
Si-71は、シリコンウェーハなどの半導体基板の厚さを自動的に測定する光干渉式非接触基板厚測定装置です。赤外線を使い鏡面ウェーハなどの基板表面と裏面反射光の干渉をモニタリングし、基板自身の厚さを出力します。また、基板上の厚膜の厚さ測定も可能です。
【製品一覧】 ｜ Foothill Si-71
シリコンウェーハ厚さ測定
Foothill Si-71
概要
標準で高精度のR-θ自動ステージを備えており、φ300mmウェーハ全面の厚さ分布をスピーディに測定しマッピング表示できます。また、光学式非接触測定のためBGテープ付の極薄ウェーハでもダメージを与えることなく安定した測定が行えます。
Foothill社独自の測定方式により、これまでより高い分解能、優れた再現性が得られることができます。ぜひご評価いただき、従来の測定データと比べてみてください。
Foothill社独自の測定方式により、これまでより高い分解能、優れた再現性が得られることができます。ぜひご評価いただき、従来の測定データと比べてみてください。
