文字サイズ :小<中<大

お問い合わせ

目的で製品検索

• レジストの塗布、現像、ベーク
• ・自動 | 塗布 / 現像
• ・マニュアル | 塗布 / 現像
• ・マニュアル | ベーク
• ・枚葉式/バッチ式 | HMDS処理
• レジストの特性評価、解析
• ・レジスト現像解析 / 評価
• ・フォトプロセス露光解析
• ・レジスト評価ツール
• ・測定/評価委託
• レジスト等倍露光 マスクアライナ
• 露光装置評価マスク
• ナノインプリント評価
• リソグラフィシミュレーション
• シリコンウェーハ上の膜厚測定
• ・光干渉式 膜厚測定装置
• ・分光エリプソメータ
• 評価用EUV露光光源
• LDLS^TM白色光源

2022-08-15 08:57