LDLSTM白色光源

    LDLS (Laser Driven Light Source) Energetiq Technology社製

    米国Energetiq社独自のプラズマ点灯方式を採用した高輝度・広帯域波長白色光源です。アーク放電ではなく、レーザースポットにより極小(数百μm)の安定かつ高密度なプラズマを発光・維持する発光方式を採用し、微小エリアへの集光や微細ファイバーへの高い光取込み効率を有します。 微小エリアにおける各波長輝度は、キセノンアークランプと比較し優れ、特に真空紫外域(VUV)では約100倍以上の輝度となります。他にも、レーザースポット方式の為、電極摩耗やバルブ汚染がほとんどなく長寿命、プラズマのフリッカーも起こらず、発光点位置安定性も良好です。 VUV〜NIR領域までの広帯域波長(170nm〜2100nm)かつ、各波長でフラットな出力であるため、1台でさまざまな用途にお使い頂けます。

    LDLSウィンドウ出力タイプ

    EQ-99X

    概要

    標準システムとして、出力ウィンドウを備えたランプハウス、電源 兼 20Wの励起レーザ源であるパワーサプライ、プラズマ点灯のON/OFFコントロールを行うリモートコントローラで構成されます。EQ-99Xはランプハウス内部で発生したプラズマ光を、出力ウィンドウから直接出力するモデルとなります。出力ウィンドウの材質は、標準で石英、オプションでMgF2, BK7, long pass 190nmウィンドウに変更可能です。EQ-99Xは、従来品のEQ-99とランプハウスのハウジングコート材が異なり、UV照射光によるコート材からの汚染物質発生を低減したウルトラクリーンで長寿命なモデルとなります。

    特長

    ・波長帯域:         170nm〜2100nm (使用ウィンドウなどに依存)

    ・広帯域光出力:       〜0.5W (代表値)

    ・スペクトル放射輝度:    〜10mW/mm².sr.nm(代表値)

    ・発光点サイズ:       約0.1〜0.2mmφ

    ・インターフェース:     NA 0.47

    ・発光点位置安定性:     ±0.4μm

    ・ランプ寿命:        9,000時間以上(※)

    ・サイズ&ウェイト:     [ランプハウス] 82.3×85.7×76.2(mm), 0.7kg
                     [パワーサプライ] 107×111×254(mm), 1.4kg

    ・コンプライアンス:     CEマーク, クラス1レーザー製品


    (※) 代表値でありメーカー保証値ではありません。

    ユーティリティ―

    ・必要電力 100-240V, 50/60Hz, 2.5A
    ・N2パージ クリーンドライN2 (Grade6推奨), 0.14MPa
                (VUV, DUV使用時必須)
    ・冷却方式 空冷 (チラーユニットなどは不要)
    EQ-99XFC
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    EQ-99X スペクトル

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    出力ウィンドウリスト


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    標準LDLSカタログ


    LDLS ファイバー出力タイプ

    EQ-99XFC

    概要

    標準システムとして、出力用ファイバー接続ポートを備えたランプハウス、電源 兼 20Wの励起レーザ源であるパワーサプライ、プラズマ点灯のON/OFFコントロールを行うリモートコントローラで構成されます。EQ-99XFCはランプハウス上部の出力用ファイバーから光を出力するモデルとなります。また、ランプハウス内部に、long pass 190nm フィルタを搭載しており、190nm以下のDUVをカットする事で、DUVによるファイバーの劣化(ソラリゼーション)を低減するつくりとなります。ランプハウスのファイバー接続部は、接続位置再現性に優れたFC接続を採用し、ファイバーはUV劣化耐性を有するUV-VIS用ファイバーとVIS-NIRレンジで使用可能なBroadband用の2種類を取り扱っております。

    特長

    ・波長帯域:         200nm〜2100nm (使用ファイバーに依存)

    ・広帯域光出力:       〜80mW (※1)

    ・スペクトル放射輝度:    〜60μW/nm(※1)

    ・発光点サイズ:       約0.1〜0.2mmφ

    ・インターフェース:     NA 0.22 (※1)

    ・発光点位置安定性:     ±0.4μm

    ・ランプ寿命:        9,000時間以上(※2)

    ・サイズ&ウェイト:     [ランプハウス] 82.3×85.7×76.2(mm), 0.7kg
                   [パワーサプライ] 107×111×254(mm), 1.4kg

    ・コンプライアンス:     CEマーク, クラス1レーザー製品

     

    (※1) 230μmφファイバー使用時
    (※2) 代表値でありメーカー保証値ではありません。

    ユーティリティ―

    ・必要電力   100-240V, 50〜60Hz, 2.5A
    ・N2パージ   クリーンドライN2(Grade6推奨), 0.14MPa
                  (DUV使用時必須)
    ・冷却方式   空冷 (チラーユニットなどは不要)
    EQ-99XFC
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    EQ-99XFCスペクトル

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    出力ファイバーリスト


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    OEM専用 LDLSモデル

    EQ-9, EQ-77, EQ-400

    概要

    EQ-99シリーズでは、ランプハウスとパワーサプライ(電源および励起レーザー)は別ユニットとして構成され、ランプハウス - パワーサプライ間の励起レーザー供給にファイバーケーブルを用いたつくりとなります。
    OEM専用のLDLSでは、励起レーザーはランプハウスに内蔵され、励起レーザー、レーザー光学系およびランプバルブが一体となった効率のよいモデルとなっています。OEM専用モデルでは、それぞれEQ-9(20Wレーザ搭載), EQ-77(50Wレーザ搭載), EQ-400(400Wレーザ搭載)として、励起レーザの出力向上により、アウトプット出力を向上させたものをご用意しております。また、各OEM専用LDLSでは、出力ウィンドウの背部にレトロリフレクタを搭載することにより、アウトプット出力が最大1.4倍向上することが可能です。
    詳細については、お気軽にお問合せ下さい。
    OEMモデル LDLS
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    OEMモデルLDLSスペクトルデータ


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