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実験用簡易UVナノインプリント装置
モールドサイズ: 25 mm ~ 40 mm
ウェハサイズ: 4 インチ ~ 6 インチ Si
UV照度: 0.5 mW/c㎡
オプション: HP機能、脱気ユニット
熱・UVハイブリッド・ナノインプリント装置
モールドサイズ: 25 mm ~ 40 mm
ウェハサイズ: 4 インチ ~ 6 インチ Si
ベーク: 室温 ~ 200 ℃
プレス圧: 100 ~ 9,999 N
0.1 N 刻みで設定可能
UV照度: 5 mW/c㎡
真空ポンプ、HP冷却機能搭載
ロール型熱・UVハイブリッド・ナノインプリント装置
モールドサイズ: 最大 50 mmΦ(平板)
ロールサイズ: 幅 100 mm(巻き取り式)
ベーク: 室温 ~ 150 ℃
プレス圧: 100 ~ 9,999 N
0.1 N 刻みで設定可能
UV照度: 5 mW/c㎡
オプション: 反射率測定による不良率測定ユニット
(モスアイプリント時)
インプリント用一括露光装置
露光波長: 246, 365, 405, 436 nm、および ブロード光
照度: 50 mW/c㎡
露光エリア: 125 mmΦ
インプリント用アライナ
顕微鏡: 2 基 最大 20 倍
合わせ精度: 15 μm以下
PC標準搭載
ウェハサイズ: 4, 5, 6 インチ Φ