米国Energetiq社が新しいコンセプト“Z-ピンチ”で開発したEUV光源。
コンパクトボディーにより、コストパフォーマンスを実現。
EUV光源の新機軸として、顕微鏡･欠陥検査･EUVレジストの評価等の光源として活用できます。