リソグラフィ・シミュレータは、数値計算により、露光光学系による結像およびフォトレジストの感光・現像の過程をコンピュータ上に表現し、現像後のフォトレジストの形状を算出します。リソグラフィの研究、開発、そして製造に欠かすことのできないツールとなっています。

【CPU】

2.0 GHz 以上のマルチ・プロセッサ

【OS】

Microsoft Windows Server 2008 R2 with SP1 (64bit)

Microsoft Windows Server 2012 R2 with Updates (64bit)

Microsoft Windows 10 Pro and Enterprise (64bit)

【メモリ】

8 GB以上

【ハードディスク】

PROLITHのインストールドライブに120 MB以上の空き容量

【ディスプレイ】

1024 x 768以上の解像度のモニター

【その他】

Microsoft Internet Explorer 11 or later

 

KLA株式会社（英語サイト）

ProDATAはお持ちのデータを素早く簡単に解析することができるツールです。ProDATAは実測データでもシミュレーションデータでもコントラスト曲線、スイングカーブ、FEMを解析します。これらの結果を基に、プロセスの決定を行なう事ができます。

【CPU】

 2.0GHz 以上のマルチ・プロセッサ

【OS】

Microsoft Windows 7 Professional and Enterprise editions

Microsoft Windows Server 2008 R2 Enterprise Edition

Microsoft Windows 10 Pro and Enterprise editions

※それぞれ、32ビット版、64ビット版ともに対応しています。

【メモリ】
　　　4 GB以上
       (さらに、256 MB以上の仮想メモリ）

【ハードディスク】

PROLITHのインストールドライブに16 GB以上の空き容量

【ディスプレイ】
　　　1280 x 1024 以上の解像度のモニター

【その他】
　　　Microsoft Internet Explorer 11

 

 

KLA株式会社（英語サイト）